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氣凈化設(shè)備

第I種

直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氣中的氧氣進行反應(yīng)，消化掉氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經(jīng)過分子篩吸收掉氣中的水份，使氣的含水量小于1ppm。

第II種

是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、、二氧化碳、等氣體經(jīng)吸收處理后，氣的純度可達到6個九，這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。

第I種方法設(shè)備投資小，第II種方法設(shè)備純化純度高但投資相對較大。

特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，高純供氣系統(tǒng)報價，其中常用的有20～30種。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸檢查漏點的方法檢漏，測試管路系統(tǒng)的泄漏率。

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