電源電壓	220V
規(guī)格	1200*50
類型	拋光機(jī)
驅(qū)動方式	電動
外形尺寸	1500*1600*3000
應(yīng)用領(lǐng)域	機(jī)械
重量	5000
品牌	日本speedfam
型號	16B-5P
加工定制	是
加工批量	50L

一、設(shè)備用途及特點

用途：本雙面研磨機(jī)主要用于藍(lán)寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時磨削及拋光。

特點：1. 創(chuàng)新是設(shè)計的基本理念，本設(shè)備在設(shè)計時認(rèn)真分析和比較了國內(nèi)外同類設(shè)備的結(jié)構(gòu)、控制和功能特點，綜合、歸納并采用了眾多用戶的成功經(jīng)驗和合理建議。著力提高設(shè)備的技術(shù)含量、運行精度和運行平穩(wěn)性。

2. 采用先進(jìn)的臺灣產(chǎn)PLC程序控制器，控制整機(jī)的動作，自動化程度高，并由與之匹配的大屏幕觸摸屏作界面，顯示當(dāng)前整機(jī)狀態(tài)，實現(xiàn)人機(jī)對話，操作一目了然。

3. 采用變頻調(diào)速及全齒輪傳動，使整機(jī)工作時起動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)穩(wěn)定，尤其在低速運轉(zhuǎn)時，克服了上、下研磨盤的竄動、爬行現(xiàn)象。

4. 采用亞德克生產(chǎn)的氣動執(zhí)行元件與SMC生產(chǎn)的氣動控制元件配套，實現(xiàn)研磨盤分輕壓、中壓、重壓、精研等四個階段的壓力無級調(diào)節(jié)，為磨削工件提供更出色的研磨效率及更廣泛的磨削工藝選擇。

5. 大齒圈可以升降，且升降位置可以調(diào)節(jié)。太陽輪的高度也可以通過定期增減墊片數(shù)量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

6. 減速機(jī)用杭州杰牌的，型號是150-20與075-30。

7. 采用雙電機(jī)和雙變頻驅(qū)動；產(chǎn)地是無錫亨達(dá)高溫變頻電機(jī)。主電機(jī)（9KW/1440rpm）帶動上、下研磨盤和齒圈；用副電機(jī)（1.5KW/1400rpm）帶動太陽輪。副電機(jī)與主電機(jī)按比例同步調(diào)速。

8. 配備有自動潤滑裝備，對齒輪進(jìn)行潤滑。

9. 本設(shè)備可設(shè)定和存儲二十套不同的工藝參數(shù)（壓力、速度、時間、圈數(shù)）供使用者選用。

10. 配有主氣缸端鎖機(jī)構(gòu)，可方便、安全鎖定上研磨盤。

 主要技術(shù)參數(shù)

1）研磨盤規(guī)格：上盤Φ965×Φ385×45mm  下盤Φ965×Φ385×35mm  

2）行星輪規(guī)格:Dp12 Z=152 a=20° （外徑：Φ325.96）  

3）放置行星輪個數(shù)n 3≤n≤6

4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm

5）研磨工件理想規(guī)格: Φ150   **大工件規(guī)格：對角線300mm

6）齒圈升降高度:35mm

7）下研磨盤轉(zhuǎn)速: 0-50r

8）主氣缸: Φ125×450mm

9）升降氣缸: Φ80×250mm

10）端鎖氣缸: Φ32×15mm

11）主電機(jī):YVP132M-4  9KW

12）副電機(jī): YVP90L-4  1.5KW

13）砂泵電機(jī): AB-100  250   

14）設(shè)備外形尺寸：1700×1350×2650mm

1700×1350×2650mm

15）設(shè)備重量：3100Kg

3100Kg

主機(jī)精度：

下拋光盤端面跳動：0.05mm

上下拋光盤平面度：0.02mm

太陽輪徑向跳動：0.06mm